Consulta preliminar de mercado relativa al suministro de diez equipos para la investigación en microelectrónica destinados al Centro de Semiconductores de Málaga (Grupo 2).

El presente lote tiene por objeto recabar información técnica, funcional y económica del mercado para la definición de una futura contratación destinada al suministro, instalación, puesta en marcha, mantenimiento y soporte de diez equipos de investigación en microelectrónica para el Centro de Semiconductores de Málaga. Los equipos incluidos en esta consulta son los siguientes: • Cu Electroplate Tool. • BEOL Metal Cu TSV Deposition Tool. • Blanket Silicon Etch Cluster. • Sheet Resistance Measurement Tool. • Wafer Geometry Measurement Tool. • Scatterometry Overlay Measurement Tool. • Wafer Grinding & CMP Tool. • DUV Photo Track Tool. • Lithography i-line Scanner Tool. • X-SEM Measurement Tool. La información solicitada permitirá identificar soluciones disponibles en el mercado, prestaciones técnicas, configuraciones posibles, requisitos de integración con sala blanca de 300 mm y sistemas de automatización, plazos de suministro, servicios asociados y estimaciones económicas, con el fin de preparar una futura licitación en condiciones de máxima concurrencia y eficiencia.