APECS 04.1 Extension of galvanic equipment
- Committente
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Pubblicato
- 2026-10-26
- Scadenza
- Non indicato
- Fonti
- TED
- Valore
- Non indicato
Descrizione
La descrizione è nella lingua della fonte.
Erweiterung einer bestehenden galvanischen Abscheideanlage (Solstice S8) zur Verarbeitung von 150/200 mm Wafern inkl. Nachrüstung zusätzlicher Prozessmodule und Integration in die Bestandsanlage. Ex-Ante-Bekanntmachung: 707fcdb2-d7ba-4abd-a69d-39a75
CPV: 42943000
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