300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) - PR1184859-3460-P
- Auftraggeber
- Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
- Veröffentlicht
- 2026-11-02
- Frist
- Nicht angegeben
- Quellen
- TED
- Wert
- Nicht angegeben
Beschreibung
Die Beschreibung ist in der Sprache der Quelle.
300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132)
CPV: 31712100
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